今天小編繼續(xù)為您介紹在光電產(chǎn)品制造行業(yè)中，產(chǎn)生廢氣污染的主要有五類(lèi)產(chǎn)品的制造過(guò)程:半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD、LED、印制電路板(PCB)、電子終端產(chǎn)品。這幾個(gè)也是我們廢氣處理經(jīng)常面對(duì)的。

①半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中VOCs的排放半導(dǎo)體制造工藝中VOCs主要來(lái)源于光刻、顯影工序，在這些工序中要用有機(jī)溶液(如異丙醇)對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一。同時(shí)，在光刻過(guò)程中使用的光阻劑(光刻膠)中含盡有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣也要揮發(fā)到大術(shù)氣中。
   ②TFT-LCD制造過(guò)程中VOCs的排放包括檢査和測(cè)試在內(nèi)，TFT-LCD的制造生產(chǎn)制工藝可達(dá)到100多道工序，生產(chǎn)過(guò)程中使用多種化學(xué)有機(jī)溶劑和特殊氣體，產(chǎn)生的VOCc多量大，組分復(fù)雜。TFT液晶面板生產(chǎn)排放VOCs污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜時(shí)工程兩大部分。陣列工程中的光刻(涂膠、曝光和顯影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜制造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍(lán)，RGB)、保護(hù)膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產(chǎn)生VOCs的主要產(chǎn)生少量VOCs。TFT-LCD的制造過(guò)程中產(chǎn)生的VOCs主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電子組件制造過(guò)程中VOCs的排放LED電子組件生產(chǎn)產(chǎn)生的VOCs污染物主要來(lái)源于基片處理和光刻，LED生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生VOCs的種類(lèi)主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印制電路板(PCB)制造過(guò)程中VOCs的排放在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中，產(chǎn)生的VOCs工藝環(huán)節(jié)相對(duì)較集中，主要來(lái)源于貼膜、烘干、江、印刷等工子，VOCs排放種類(lèi)主要有甲醛、醇類(lèi)(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(lèi)(丁酮)、酯類(lèi)劑的貯存過(guò)程中也會(huì)有部分乙酸乙VOCs產(chǎn)生和排放。

⑤電子終端產(chǎn)品制造過(guò)程中VOCs的排放在電子終端產(chǎn)品制造中，VOCs的主要來(lái)源包括電路板清洗劑有機(jī)廢氣(使用有機(jī)溶劑型清洗劑)、電路板三防噴漆廢氣、機(jī)売(機(jī)箱)噴漆廢氣、機(jī)殼注塑廢氣。這些廢氣均來(lái)自工位上的局部排風(fēng)系統(tǒng)，特點(diǎn)是排風(fēng)量大、濃度低。

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