半導(dǎo)體廢氣處理
一、半導(dǎo)廢氣處理成份
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要成分為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類成分：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)
三、半導(dǎo)體廢氣處理方法
一般半導(dǎo)體行業(yè)針對(duì)廢氣處理的解決方案如下：
(1)預(yù)處理階段：采用噴淋塔先對(duì)廢進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分、風(fēng)量大小、廢氣濃度不同，所以采用的半導(dǎo)體廢氣處理方法也會(huì)不同或者需要多種方法結(jié)合使用，具體處理方案可以咨詢我們，我們將有工程師一對(duì)一為您定制廢氣處理方案。
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